[实用新型]嵌入式电感结构有效
| 申请号： | 202122607308.0 | 申请日： | 2021-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN216435933U | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 朱庆芳 | 申请（专利权）人： | 泉州市三安集成电路有限公司 |
| 主分类号： | H01L49/02 | 分类号： | H01L49/02 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 连耀忠 |
| 地址： | 362000 福建省泉*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种嵌入式电感结构，电感结构包括具有一定深度的沟渠的衬底，在沟渠底部上依次设有沿沟渠的深度方向多层间隔的线圈结构，线圈结构包括金属层以及依次包裹在金属层侧壁的第一介电层和粘附层，线圈结构通过粘附层附着在沟渠的侧壁上，粘附层还包覆在金属层和第一介电层的底面，相邻间隔的两个线圈结构通过金属连接柱相连，多个线圈结构通过金属连接柱相连形成嵌入在衬底内的电感结构。采用DRIE与深度终点探测工艺形成具有垂直侧壁的沟渠，线圈结构的圈数可以根据需求进行调整，并实现电感值的可变控制，最终达到优化效能的目标。 | ||
| 搜索关键词： | 嵌入式 电感 结构 | ||
【主权项】：
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