[实用新型]可调制的射频离子源有效
| 申请号： | 202122604265.0 | 申请日： | 2021-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN216648217U | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 王艳会;赵子淳;叶雨城;邹洁;鹿建;谢斌平 | 申请（专利权）人： | 费勉仪器科技（南京）有限公司;费勉仪器科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/18;H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海国瓴律师事务所 31363 | 代理人： | 傅耀 |
| 地址： | 210000 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种可调制的射频离子源，其特征在于，包括：离子源，用于发射等离子体；真空调制装置，与所述离子源的输出端密封连接，包括：至少一个栅网，用于处理所述等离子体；至少一个真空电馈入件，与所述至少一个栅网连接，用于向所述至少一个栅网提供电压。 | ||
| 搜索关键词： | 调制 射频 离子源 | ||
【主权项】：
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