[实用新型]可调制的射频离子源

权利要求书

1.一种可调制的射频离子源，其特征在于，包括：

离子源，用于发射等离子体；

真空调制装置，与所述离子源的输出端密封连接，包括：

至少一个栅网，用于处理所述等离子体；

至少一个真空电馈入件，与所述至少一个栅网连接，用于向所述至少一个栅网提供电压。

2.根据权利要求1所述的可调制的射频离子源，其特征在于，所述至少一个栅网可以包括第一栅网和

第二栅网，

所述第一栅网与所述第二栅网绝缘堆叠设置，

所述至少一个真空电馈入件可以包括：

第一真空电馈入件，与所述第一栅网连接，用于向所述第一栅网提供第一电压；

第二真空电馈入件，与所述第二栅网连接，用于向所述第二栅网提供第二电压。

3.根据权利要求2所述的可调制的射频离子源，其特征在于，所述至少一个栅网还可以包括：

至少一个附加栅网，与所述第一栅网、所述第二栅网绝缘堆叠设置；所述至少一个真空电馈入件还可以包括：

至少一个附加真空电馈入件，与所述至少一个附加栅网连接，用于向所述至少一个栅网提供至少一个电压。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的可调制的射频离子源，其特征在于，所述真空调制装置还包括：

至少一个端子，每个端子与所述至少一个栅网中的一个电连接；和/或

至少一个绝缘隔离垫，设置在所述至少一个栅网之间和/或所述至少一个栅网两侧。

5.根据权利要求4所述的可调制的射频离子源，其特征在于，所述栅网包括具有连接孔的至少一个径向凸起，用于与所述端子导电连接。

6.根据权利要求1所述的可调制的射频离子源，其特征在于，所述真空调制装置还包括：

安装法兰，与所述离子源的输出端密封连接，

所述至少一个栅网固定连接在所述安装法兰上。

7.根据权利要求6所述的可调制的射频离子源，其特征在于，

所述安装法兰还包括：

至少一个法兰接口，用于与所述至少一个真空电馈入件的法兰密封连接。

8.根据权利要求1所述的可调制的射频离子源，其特征在于，

所述离子源包括：

射频聚焦激励装置，用于形成射频电场；以及

离子保持器，用于在所述射频电场的作用下发射等离子体。

9.根据权利要求8所述的可调制的射频离子源，其特征在于，所述离子保持器包括输出腔体，所述输出腔体的末端为所述离子源的输出端。

10.根据权利要求8所述的可调制的射频离子源，其特征在于，

所述离子源还包括：

保持器保护壳，套设在所述离子保持器上，用于保护所述离子保持器。

11.根据权利要求1所述的可调制的射频离子源，其特征在于，还包括：

控制器，用于控制所述至少一个真空电馈入件供给所述至少一个栅网的电压。