[实用新型]一种SIC衬底加工装置有效
| 申请号： | 202122603660.7 | 申请日： | 2021-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN215968179U | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 杨柳;张高杰;李振飞 | 申请（专利权）人： | 东莞市柯林奥环保科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/34 |
| 代理公司： | 绍兴上虞鸿鸣知识产权代理事务所(普通合伙) 33363 | 代理人： | 刘鹏 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种SIC衬底加工装置，包括机架和抛光垫，机架底端的中部固定安装有第一电机箱，第一电机箱的内部固定安装有第一驱动电机，第一驱动电机的输出端穿过机架固定安装有连接轴，连接轴的一端固定安装有机台大盘，机台大盘的顶部铺设有抛光垫，机架顶端的一侧固定安装有喷淋架，喷淋台顶部的两端分别固定安装有抽取泵和药液罐，本实用新型一种SIC衬底加工装置，通过设置抛光垫、喷淋板、抽取泵和药液罐，三者搭配使用，金刚石钻石液以及附有润滑性的RO水均匀附着在抛光垫上，以该种方式进行往复循环的机械游离加工，取消定期修盘工序，简化流程，提高生产效率，以达到降低成本的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 sic 衬底 加工 装置 | ||
【主权项】：
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