[实用新型]一种SIC衬底加工装置

说明书

本实用新型公开了一种SIC衬底加工装置，包括机架和抛光垫，机架底端的中部固定安装有第一电机箱，第一电机箱的内部固定安装有第一驱动电机，第一驱动电机的输出端穿过机架固定安装有连接轴，连接轴的一端固定安装有机台大盘，机台大盘的顶部铺设有抛光垫，机架顶端的一侧固定安装有喷淋架，喷淋台顶部的两端分别固定安装有抽取泵和药液罐，本实用新型一种SIC衬底加工装置，通过设置抛光垫、喷淋板、抽取泵和药液罐，三者搭配使用，金刚石钻石液以及附有润滑性的RO水均匀附着在抛光垫上，以该种方式进行往复循环的机械游离加工，取消定期修盘工序，简化流程，提高生产效率，以达到降低成本的目的。

技术领域

本实用新型涉及SIC衬底加工技术领域，具体为一种SIC衬底加工装置。

背景技术

SIC作为第三代半导体材料，其具有禁带宽度大，击穿场强，热导率大，电子饱和漂移速度高，抗辐射能力强和良好化学稳定性等特性，成为新一代的电子器件关键材料，工作人员通常在SIC衬底外延生长前对衬底表面进行化学机械研磨加工，然而，现有的衬底加工装置存在以下缺陷：SIC衬底精密加工时树脂锡盘长期使用后需要定期修盘，以保证其正常打磨，这样增加SIC衬底加工成本，降低SIC衬底的生产效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种SIC衬底加工装置，以解决上述背景技术中提出的SIC衬底精密加工时树脂锡盘长期使用后需要定期修盘，以保证其正常打磨，这样增加SIC衬底加工成本，降低SIC衬底的生产效率的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种SIC衬底加工装置，包括机架和抛光垫，所述机架底端的中部固定安装有第一电机箱，所述第一电机箱的内部固定安装有第一驱动电机，所述第一驱动电机的输出端穿过机架固定安装有连接轴，所述连接轴的一端固定安装有机台大盘，所述机台大盘的顶部铺设有抛光垫，所述机架顶端的一侧固定安装有喷淋架，所述喷淋架的一侧固定安装有喷淋台，所述喷淋台顶部的两端分别固定安装有抽取泵和药液罐，所述喷淋架的底部固定安装有位于抛光垫上方的液压缸，所述液压缸的活动端固定安装有喷淋板，所述机架顶端远离喷淋架的一侧固定安装有高度板，所述机架的一侧从左到右依次固定安装有第一调节开关、第二调节开关、精磨开关和喷淋开关。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述高度板相对于喷淋架的一侧开设有平移槽，所述平移槽的内部转动连接有螺纹柱，所述螺纹柱的中部螺纹连接有平移块，所述平移块的一端固定安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的活动端固定安装有机台PP头，所述机台PP头的顶部固定安装有第二电机箱，所述第二电机箱的内部固定安装有第二驱动电机，所述第二驱动电机的输出端依次穿过第二电机箱和机台PP头固定安装有粘附板，所述第一驱动电机和第二驱动电机均与精磨开关电性连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述平移槽的底部固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端与螺纹柱的相邻端固定连接，所述平移块与平移槽滑动连接，所述伺服电机与第一调节开关电性连接，所述电动伸缩杆与第二调节开关电性连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述抽取泵的进水口固定连通有抽取软管，所述抽取软管远离抽取泵的一端与药液罐的一侧固定连通，所述抽取泵的出水口固定连通有输送软管，所述输送软管远离抽取泵的一端穿过喷淋架与喷淋板的一侧固定连通，所述抽取泵和液压缸均与喷淋开关电性连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述喷淋板的底部固定连通有若干个喷淋头，所述药液罐顶部的两端分别固定连通有第一注液管和第二注液管。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述抛光垫由聚氨酯材料制成。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过设置抛光垫、喷淋板、抽取泵和药液罐，三者搭配使用，金刚石钻石液以及附有润滑性的RO水均匀附着在抛光垫上，以该种方式进行往复循环的机械游离加工，取消定期修盘工序，简化流程，提高生产效率，以达到降低成本的目的。

附图说明

图1为本实用新型的立体图；