[实用新型]一种适用于晶圆Bar条对光工序吸附夹具有效
| 申请号： | 202122559011.1 | 申请日： | 2021-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN216116672U | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 何褀昌;李开心 | 申请（专利权）人： | 安捷芯科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 广东科信启帆知识产权代理事务所(普通合伙) 44710 | 代理人： | 吴少东 |
| 地址： | 528459 广东省中山市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种适用于晶圆Bar条对光工序吸附夹具，包括竖直设置在底座上的夹具片，所述夹具片的上端面沿其长度方向设有多个用于吸附芯片的吸附孔，所述夹具片内部设有与所述吸附孔连通的吸附通道，所述吸附通道的另一端设有用于与吸附装置连接的快速接头，本申请有益效果为：首先适用于芯片晶圆切割成Bar条状后的对光测试工序；其次与工件接触的面粗糙度小，保证芯片Bar条与夹具的吸附力足够强；再者底部有两个反光块，使得CCD成像更清晰，更容易观测到芯片的波导；最后气道设计合理，气密性好，夹具制作精度高，吸附时工件稳定无晃动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 bar 对光 工序 吸附 夹具 | ||
【主权项】：
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