[实用新型]一种适用于晶圆Bar条对光工序吸附夹具

说明书

一种适用于晶圆Bar条对光工序吸附夹具，包括竖直设置在底座上的夹具片，所述夹具片的上端面沿其长度方向设有多个用于吸附芯片的吸附孔，所述夹具片内部设有与所述吸附孔连通的吸附通道，所述吸附通道的另一端设有用于与吸附装置连接的快速接头，本申请有益效果为：首先适用于芯片晶圆切割成Bar条状后的对光测试工序；其次与工件接触的面粗糙度小，保证芯片Bar条与夹具的吸附力足够强；再者底部有两个反光块，使得CCD成像更清晰，更容易观测到芯片的波导；最后气道设计合理，气密性好，夹具制作精度高，吸附时工件稳定无晃动。

技术领域

本实用新型涉及光通芯片领域，尤其涉及一种适用于晶圆Bar条对光工序吸附夹具。

背景技术

现有的贴盖板夹具结构单一，不能适用不同长度尺寸的芯片Bar条，如此一来夹具使用过程中非常受限。

实用新型内容

针对芯片对光工序工件固定问题，通过结合现有芯片Bar条固定工艺，设计一套固定夹具，针对芯片Bar条对光过程中位置精度的管控，同时左右两侧的玻璃镜片可以反射光线，使得摄像头更容易观看到芯片。

为实现上述目的，本技术方案如下：

一种适用于晶圆Bar条对光工序吸附夹具，包括竖直设置在底座上的夹具片，所述夹具片的上端面沿其长度方向设有多个用于吸附芯片的吸附孔，所述夹具片内部设有与所述吸附孔连通的吸附通道，所述吸附通道的另一端设有用于与吸附装置连接的快速接头。

在一些实施例中，位于所述夹具片边缘侧的吸附孔通过所述吸附通道以及与其对应的所述快速接头用于吸附较短的芯片；

位于远离所述夹具片边缘侧的吸附孔通过所述吸附通道以及与其对应的所述快速接头用于吸附较长的芯片。

在一些实施例中，所述吸附通道的上端设有凹腔。

在一些实施例中，所述夹具片两侧位于下方设有可相对其转动的反光片，其用于调节反光强度。

在一些实施例中，所述夹具片两侧还设有左靠近块以及右靠近块，所述左靠近块通过滑轨滑块结构配合实现滑动，所述左靠近块的上表面设有固定板以及位于所述固定板一侧的滑动板，所述滑动板设有驱动气缸，所述滑动板与固定板之间的间距根据芯片的长短来决定。

在一些实施例中，所述底座与夹具片之间还设有垫高块，所述底座一端设有与所述垫高块凹凸配合的定位块，所述底座一侧设有用于限位所述垫高块的限位柱，所述底座另一端设有用于卡紧所述垫高块的卡紧机构。

本申请有益效果为：

1.适用于芯片晶圆切割成Bar条状后的对光测试工序；

2.与工件接触的面粗糙度小，保证芯片Bar条与夹具的吸附力足够强；

3.底部有两个反光块，使得CCD成像更清晰，更容易观测到芯片的波导；4.气道设计合理，气密性好，夹具制作精度高，吸附时工件稳定无晃动。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1是本实用新型实施例的结构示意图；

图2是本实用新型实施例的截面结构示意图；

图3是本实用新型实施例的承载芯片的结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。