[实用新型]一种蒸镀设备以及蒸镀系统有效
| 申请号： | 202122479368.9 | 申请日： | 2021-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN216303971U | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 黄琪兵;杨然翔 | 申请（专利权）人： | 重庆康佳光电技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人： | 李发兵 |
| 地址： | 402760 重庆市璧*** | 国省代码： | 重庆;50 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种蒸镀设备以及蒸镀系统。蒸镀设备包括坩埚台，坩埚台包括用于放置靶材的载物平面、限制靶材蒸发角度的角度限制结构以及位移机构，位移机构被配置为带动载物平面在垂直于载物平面的方向上移动；加热装置，被配置为对靶材进行加热以使靶材蒸发。在一些实施过程中，有利于保证蒸镀的膜厚均一性，且也可根据需要主动的改变蒸发角度，不需要停机调整，使得蒸镀过程的灵活性更强，更为便捷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设备 以及 系统 | ||
【主权项】：
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