[实用新型]一种蒸镀设备以及蒸镀系统

说明书

本实用新型涉及一种蒸镀设备以及蒸镀系统。蒸镀设备包括坩埚台，坩埚台包括用于放置靶材的载物平面、限制靶材蒸发角度的角度限制结构以及位移机构，位移机构被配置为带动载物平面在垂直于载物平面的方向上移动；加热装置，被配置为对靶材进行加热以使靶材蒸发。在一些实施过程中，有利于保证蒸镀的膜厚均一性，且也可根据需要主动的改变蒸发角度，不需要停机调整，使得蒸镀过程的灵活性更强，更为便捷。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀领域，尤其涉及一种蒸镀设备以及蒸镀系统。

背景技术

蒸镀设备是包括但不限于半导体，LED(Light Emitting Diode，发光二极管)，OLED(Organic Light Emitting Diode，有机发光二极管)面板等行业中的成膜设备，通过对置于设备内的坩埚里的膜料进行加热激发，使其蒸发至上方的基板表面成膜，但现有蒸镀设备蒸发形成的膜层厚度不均，影响成品的品质。

因此，如何改善蒸镀形成的膜厚均一性是亟需解决的问题。

实用新型内容

鉴于上述相关技术的不足，本申请的目的在于提供一种蒸镀设备以及蒸镀系统，旨在解决现有蒸镀设备蒸发形成的膜层厚度不均，影响成品的品质的问题。

一种蒸镀设备，包括：

坩埚台，所述坩埚台包括用于放置靶材的载物平面、限制所述靶材蒸发角度的角度限制结构以及位移机构，所述位移机构被配置为带动所述载物平面在垂直于所述载物平面的方向上移动；

加热装置，被配置为对所述靶材进行加热以使所述靶材蒸发。

上述蒸镀设备，通过位移机构带动载物平面在垂直于载物平面的方向上移动，使得在蒸镀的过程中，能够调整载物平面的高度。在一些实施过程中，通过合理的控制就能够保证靶材的蒸发平面的位置相对不变，从而有利于保证蒸镀的膜厚均一性。且在另一些实施过程中，也可根据需要主动的改变蒸发角度，不需要停机调整，使得蒸镀过程的灵活性更强，更为便捷。

可选地，所述蒸镀设备包括驱动器，所述驱动器被配置为提供驱动力以使得所述位移机构发生移动。

可以理解的是，驱动器使得位移机构可被预先设置的程序控制移动，即使蒸镀正在进行，也能够准确调整靶材的位置，无需停下蒸镀进行调整。

可选地，所述位移机构包括长度方向垂直于所述载物平面的丝杆，套设在所述丝杆上的传动齿轮以及驱动齿轮；

所述驱动齿轮与所述驱动器连接并受所述驱动器的驱动，所述驱动齿轮与所述传动齿轮相啮合，所述传动齿轮的内孔孔壁包括与所述丝杆的螺纹相配合的螺纹，所述传动齿轮在平行于所述载物平面的方向上的移动以及所述丝杆的周向转动被限制，以使所述驱动齿轮带动所述传动齿轮转动时，所述丝杆沿自身的长度方向移动。

可以理解的是，通过丝杆和齿轮传动的方式移动载物平面，移动过程平稳可靠，且精准度高。

可选地，所述位移机构包括长度方向垂直于所述载物平面的齿条以及驱动齿轮；所述驱动齿轮与所述驱动器连接并受所述驱动器的驱动所述驱动齿轮与所述齿条相啮合，所述驱动齿轮转动时，带动所述齿条沿自身的长度方向移动。

可以理解的是，通过齿条和齿轮传动的方式移动载物平面，移动过程平稳可靠，且精准度高。

基于同样的构思，本申请还提供一种蒸镀系统，包括：蒸镀腔室以及上述示例的蒸镀设备，所述蒸镀设备设于所述蒸镀腔室内，所述蒸镀腔室中与所述蒸镀设备相对的位置包括用于设置被镀物体的载物区域。