[实用新型]一种MEMS压力传感器芯片有效
| 申请号： | 202122473537.8 | 申请日： | 2021-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN216433319U | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 朱丰;任强;张琦;寿允丰 | 申请（专利权）人： | 浙江芯动科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 熊亮亮 |
| 地址： | 314001 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种MEMS压力传感器芯片，涉及到传感器技术领域，包括底座，所述底座的上方设置有盖板，所述底座的上表面和盖板之间设置有真空腔，所述真空腔的内部底端设置有下硅片，所述下硅片上设置有多个呈线性阵列分布的金属框，所述金属框设置为方形结构，多个所述金属框之间通过连接导线电性连接，所述盖板的中部设置有上硅片，所述盖板与上硅片之间通过弹性片活动连接，所述上硅片的下表面设置有多个呈线性阵列分布的金属板。本实用新型通过设置面积不同的金属板与金属框，使得电容的变化较为明显，从而使得传感器在受到较小压力时仍能保证检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 压力传感器 芯片 | ||
【主权项】：
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