[实用新型]一种基于扫描电镜可抵消磁场干扰的原位加热器

摘要

本实用新型公开了一种基于扫描电镜可抵消磁场干扰的原位加热器，包括：底板一与样品台固定，屏蔽管包括一端均与底板三固定的屏蔽管一、屏蔽管二以及屏蔽管三；坩埚一端开设有样品放置槽，另一端固定有支撑架，坩埚布置在屏蔽管三内部，支撑架远离坩埚的一端与底板二固定，坩埚外壁呈螺旋状盘设有加热钨丝，加热钨丝外侧呈螺旋状盘设有屏蔽线，加热钨丝与屏蔽线的旋向相反且二者通电时产生的电磁场相反，加热钨丝和屏蔽线均与控制器电性连接。本实用新型通过设置依次同轴布置的屏蔽管一、屏蔽管二以及屏蔽管三，坩埚布置在屏蔽管三内，该设置克服了在扫描电镜内加热的过程中难以成像的问题，在对样品进行高温性能测试时能够取得良好成像。