[实用新型]一种基于扫描电镜可抵消磁场干扰的原位加热器

说明书

本实用新型公开了一种基于扫描电镜可抵消磁场干扰的原位加热器，包括：底板一与样品台固定，屏蔽管包括一端均与底板三固定的屏蔽管一、屏蔽管二以及屏蔽管三；坩埚一端开设有样品放置槽，另一端固定有支撑架，坩埚布置在屏蔽管三内部，支撑架远离坩埚的一端与底板二固定，坩埚外壁呈螺旋状盘设有加热钨丝，加热钨丝外侧呈螺旋状盘设有屏蔽线，加热钨丝与屏蔽线的旋向相反且二者通电时产生的电磁场相反，加热钨丝和屏蔽线均与控制器电性连接。本实用新型通过设置依次同轴布置的屏蔽管一、屏蔽管二以及屏蔽管三，坩埚布置在屏蔽管三内，该设置克服了在扫描电镜内加热的过程中难以成像的问题，在对样品进行高温性能测试时能够取得良好成像。

技术领域

本实用新型涉及扫描电镜原位实验领域，更具体地说是涉及一种基于扫描电镜可抵消磁场干扰的原位加热器。

背景技术

我国已有的材料力学性能测量和材料显微结构表征一直是分时独立进行的，无法将其服役工况-性能测试-显微结构进行一体化表征，这严重制约了我国在关键性战略材料领域的发展。而扫描电镜原位实验是将材料性能测试与微观结构演变实时、动态的联系在一起，在进行性能测试的同时可以对材料微观结构演变进行实时的观察，是一种新兴的实验方法。

目前基于扫描电镜的原位实验在高温条件下升温过程中产生的电磁场对二次电子有很大的影响，同时产生的大量热电子会干扰电镜成像，使实验难以获得高质量的扫描电镜图像。

因此，如何提供一种基于扫描电镜可抵消磁场干扰的原位加热器，使其能够克服上述问题。是本领域技术人员亟需解决的问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种基于扫描电镜可抵消磁场干扰的原位加热器。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种基于扫描电镜可抵消磁场干扰的原位加热器，安装在扫描电镜的样品台上，包括：

底板，所述底板包括依次平行固定的底板一、底板二以及底板三，所述底板一远离所述底板二的一侧板面通过多个氧化锆陶瓷柱与所述样品台平行固定；

屏蔽管，所述屏蔽管包括一端均与所述底板三固定的屏蔽管一、屏蔽管二以及屏蔽管三，所述屏蔽管一内部依次同轴布置有所述屏蔽管二和所述屏蔽管三；

盖板，所述盖板包括盖板一、盖板二以及盖板三，所述屏蔽管一、所述屏蔽管二以及所述屏蔽管三远离所述底板三的一端各自扣设有所述盖板一、所述盖板二以及所述盖板三，所述盖板一、所述盖板二以及所述盖板三的板面上各自开设有通孔一、通孔二以及通孔三，所述通孔一、所述通孔二以及所述通孔三位置对应；

坩埚，所述坩埚整体呈柱形且其一端开设有样品放置槽，另一端安装有支撑架，所述坩埚同轴布置在所述屏蔽管三内部，所述支撑架远离所述坩埚的一端穿过所述底板三后与所述底板二固定，所述样品放置槽与所述通孔一位置对应，所述坩埚外壁呈螺旋状盘设有加热钨丝，所述加热钨丝外侧呈螺旋状盘设有屏蔽线，所述加热钨丝与所述屏蔽线的旋向相反且二者通电时产生的电磁场相反；

控制器，所述控制器安装在所述扫描电镜上，所述加热钨丝和所述屏蔽线均与所述控制器电性连接。

经由上述的技术方案可知，与现有技术相比，本实用新型公开提供了一种基于扫描电镜可抵消磁场干扰的原位加热器，本实用新型通过设置依次同轴布置的屏蔽管一、屏蔽管二以及屏蔽管三，坩埚布置在屏蔽管三内，并且在屏蔽管一、屏蔽管二以及屏蔽管三远离底板三的一端各自扣设有盖板一、盖板二以及盖板三，该设置克服了在扫描电镜内加热的过程中，由于磁场对电子的影响而难以成像的问题，在对样品进行高温性能测试的同时能够取得良好成像。