[实用新型]一种带进料粉碎机构的单晶炉有效
| 申请号: | 202122451267.0 | 申请日: | 2021-10-12 |
| 公开(公告)号: | CN216192868U | 公开(公告)日: | 2022-04-05 |
| 发明(设计)人: | 吴亚娟;燕靖;李远田 | 申请(专利权)人: | 徐州美芯半导体材料科技有限公司;江苏集芯半导体硅材料研究院有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06;B02C18/14;B02C18/16;B02C18/18;B28D5/00 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 221000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种带进料粉碎机构的单晶炉,炉盖上安装有进料粉碎机构;进料粉碎机构包括粉碎室、搅拌主轴、防尘板和导流管,粉碎室呈卧式圆筒状,粉碎室一侧上方水平设有进料口,进料口通过倾斜设置的滑槽与粉碎室连通,进料口与滑槽连接处的上端转动连接防尘板,粉碎室的中心处水平设有搅拌主轴,搅拌主轴的一端与粉碎室外的电机输出端连接,搅拌主轴上圆周均匀设有多个长搅拌叶,搅拌主轴在相邻两个长搅拌叶之间固定有短搅拌叶,粉碎室内的上半筒壁均匀固定有多个粉碎块,粉碎室靠近炉盖的一侧下部开设出料口,粉碎室的出料口通过倾斜向下设置的导流管延伸至炉体内坩埚的上方;炉体在坩埚的正下方固定有接液槽。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 进料 粉碎 机构 单晶炉 | ||
【主权项】:
暂无信息
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