[实用新型]一种恒温热风式真空干靶装置

摘要

本实用新型涉及一种恒温热风式真空干靶装置，其中：真空仓设置在干燥箱内；真空泵、第一电磁阀通过气管连接形成抽真空用的气体通路，真空泵的进气口通过气管与第一电磁阀相连，第一电磁阀的另一端与真空仓相连；风机、加热腔、过滤器和第二电磁阀通过送风管连接形成向干燥箱送热风的送风通路，风机的出风口通过送风管接入加热腔的一端，加热腔的另一端通过送风管与过滤器相连，过滤器再经第二电磁阀接入至干燥箱；温控器的温度感应端设置在干燥箱中，温控器的控制输出端与第二电磁阀电连接。本申请能够实现对于靶板上样本的快速干燥，同时稳定性好，在提高效率的同时能够保证样本活性。