[实用新型]一种恒温热风式真空干靶装置

权利要求书

1.一种恒温热风式真空干靶装置，其特征在于，包括干燥箱、真空仓、真空泵、第一电磁阀、风机、加热腔、过滤器、第二电磁阀和温控器，其中：

所述真空仓设置在所述干燥箱内；

所述真空泵、第一电磁阀通过气管连接形成抽真空用的气体通路，所述真空泵的进气口通过气管与所述第一电磁阀相连，所述第一电磁阀的另一端与所述真空仓相连；

所述风机、加热腔、过滤器和第二电磁阀通过送风管连接形成向所述干燥箱送热风的送风通路，所述风机的出风口通过送风管接入加热腔的一端，加热腔的另一端通过送风管与所述过滤器相连，所述过滤器再经所述第二电磁阀接入至干燥箱；

所述温控器的温度感应端设置在所述干燥箱中，所述温控器的控制输出端与所述第二电磁阀电连接。

2.根据权利要求1所述的恒温热风式真空干靶装置，其特征在于，所述真空仓包括可开合锁定在一起的仓体以及盖板，仓体内设置有对靶板进行定位的治具，所述盖板上设置有与第一电磁阀相连的抽气孔。

3.根据权利要求2所述的恒温热风式真空干靶装置，其特征在于，所述盖板上还开设有一用于破真空的气孔，所述气孔经另一独立气管与第三电磁阀相连接。