[实用新型]氮化镓压力传感器有效
| 申请号： | 202122445150.1 | 申请日： | 2021-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN216528897U | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 刘泽文;孙剑文 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01L29/423 | 分类号： | H01L29/423;H01L29/778;H01L21/335;G01L1/16 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 尚伟净 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了氮化镓压力传感器，所述氮化镓压力传感器包括：第一衬底、第二衬底、外延结构、源极、漏极、栅极和凹槽，所述源极、所述漏极和所述栅极位于所述外延结构远离所述第二衬底的一侧，所述源极和所述漏极分别位于所述栅极相对的两侧，所述栅极的数量为大于等于2的正整数，所述源极和所述漏极之间具有沟道区域。由此，本实用新型的氮化镓压力传感器具有两个以上的栅极，通过在栅极上施加电压调控沟道宽度，实现了沟道宽度的调控，可以对氮化镓压力传感器的检测范围、精度以及灵敏度等进行二次调整优化，扩大了工艺制备窗口，扩展了压力传感器的应用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化 压力传感器 | ||
【主权项】：
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