[实用新型]一种真空镀膜机的冷泵装置有效
| 申请号： | 202122444807.2 | 申请日： | 2021-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN216107168U | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 杨涛;朱星宇 | 申请（专利权）人： | 江苏晋誉达半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/56;C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 苏州金项专利代理事务所(普通合伙) 32456 | 代理人： | 金星 |
| 地址： | 215600 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜机的冷泵装置，包括冷却腔体，冷却腔体上固定有冷泵连接法兰，冷泵连接法兰与冷泵连接，冷却腔体的侧壁上设置有连接管口，冷泵连接法兰上设置有抽气口，冷却腔体内在冷泵连接法兰处安装有阀座，该阀座将冷却腔体分隔成第一腔室和第二腔室，第一腔室与连接管口连通，冷泵与第二腔室联通，冷却腔体上滑动有阀瓣，阀瓣由开闭动力装置驱动与阀座相互密封配合；冷却腔体上设置有与第一腔室联通的抽真空管接口，抽真空管接口与抽真空系统连通。该冷泵装置能够更快速的自身形成真空，缩短了时间，进而会提高镀膜机的镀膜效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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