[实用新型]一种真空镀膜机的冷泵装置

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜机的冷泵装置，包括冷却腔体，冷却腔体上固定有冷泵连接法兰，冷泵连接法兰与冷泵连接，冷却腔体的侧壁上设置有连接管口，冷泵连接法兰上设置有抽气口，冷却腔体内在冷泵连接法兰处安装有阀座，该阀座将冷却腔体分隔成第一腔室和第二腔室，第一腔室与连接管口连通，冷泵与第二腔室联通，冷却腔体上滑动有阀瓣，阀瓣由开闭动力装置驱动与阀座相互密封配合；冷却腔体上设置有与第一腔室联通的抽真空管接口，抽真空管接口与抽真空系统连通。该冷泵装置能够更快速的自身形成真空，缩短了时间，进而会提高镀膜机的镀膜效率。

技术领域

本实用新型涉及一种冷泵装置，尤其涉及一种真空镀膜机的冷泵装置。

背景技术

真空镀膜机是半导体材料制作过程中一种常用的设备，目前主要有电子束蒸发法，其主要原理是在真空条件下利用电子束进行直接加热蒸发材料，使蒸发材料气化并向基片移动，在基底上凝结形成薄膜的方法。电子束蒸发沉积法可以制备高纯薄膜，同时在同一蒸发沉积装置中可以安置多个坩埚，实现同时或分别蒸发，沉积多种不同的物质。通过电子束蒸发，任何材料都可以被蒸发。电子束蒸发可以蒸发高熔点材料，蒸发热效率高、束流密度大、蒸发速度快，制成的薄膜纯度高、质量好，厚度可以较准确地控制，可以广泛应用于制备高纯薄膜和导电玻璃等各种光学材料薄膜。而目前的真空镀膜机的真空形成方式主要是通过冷泵对内部制冷，使水份和气体液化形成高真空，而目前的冷泵装置是直接与镀膜机的镀膜腔联通，然后冷泵启动之前需要对冷泵自身抽着空，因此冷泵自身抽真空的也同步将镀膜腔内的空气抽离，这样冷泵自身的真空度形成特别慢，耗时长。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种真空镀膜机的冷泵装置，该冷泵装置能够更快速的自身形成真空，缩短了时间，进而会提高镀膜机的镀膜效率。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种真空镀膜机的冷泵装置，包括冷却腔体，所述冷却腔体上固定有冷泵连接法兰，所述冷泵连接法兰与冷泵连接，冷却腔体的侧壁上设置有用于与镀膜腔连接的连接管口，所述冷泵连接法兰上设置有与冷泵抽气端连通的抽气口，所述冷却腔体内在冷泵连接法兰处安装有阀座，该阀座将冷却腔体分隔成第一腔室和第二腔室，所述第一腔室与连接管口连通，所述冷泵与第二腔室联通，所述冷却腔体上滑动有阀瓣，所述阀瓣由开闭动力装置驱动与阀座相互密封配合；所述冷却腔体上设置有与第一腔室联通的抽真空管接口，所述抽真空管接口与抽真空系统连通。

作为一种优选的方案，所述冷却腔体为立式的冷却腔体，所述冷泵连接法兰位于冷却腔体的底部，所述阀座位于冷泵连接法兰的上端面。

作为一种优选的方案，所述阀瓣包括一个球面状的阀瓣本体，所述阀瓣本体的顶部设置有与开闭动力装置输出端连接的连接座。

作为一种优选的方案，所述开闭动力装置为液压缸，所述液压缸固定于冷却腔体的顶部且活塞杆伸入所述冷却腔体内与连接座固定。

作为一种优选的方案，所述冷却腔体的侧壁上还设置有检修口，所述检修口处铰接有检修门，所述检修门和检修口的口沿之间设置有密封结构和快速锁紧结构。

作为一种优选的方案，所述快速锁紧机构包括固定于检修口的口沿上锁紧块和转动安装于检修门上的锁舌，所述锁舌上设置有操作把手，所述锁紧块上设置有方便锁舌卡入的卡槽。

作为一种优选的方案，所述冷泵连接法兰上设置有用于安装温度传感器和压力传感器的安装口。