[实用新型]一种拉制单晶的加热器装置及单晶炉热场结构有效
| 申请号: | 202122380202.1 | 申请日: | 2021-09-29 | 
| 公开(公告)号: | CN217351618U | 公开(公告)日: | 2022-09-02 | 
| 发明(设计)人: | 李鹏飞;娄中士;周宏邦;袁长宏;田旭东;田宇翔;马飞;贾海洋;张强;王淼 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环领先半导体材料有限公司;中环领先半导体材料有限公司 | 
| 主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B15/14 | 
| 代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 | 
| 地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 | 
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| 摘要: | 本实用新型提供一种拉制单晶的加热器装置,其特征在于,包括:加热器主体,所述加热器主体上设置有至少一个凹槽部和至少一个凸起部,所述凹槽部设置在加热高温区,所述凸起部设置在除所述凹槽部以外的位置,将更高的温度辐射至单晶棒上,使得所述单晶棒接收更高的热量。本实用新型的有益效果是:通过对加热器的改造,实现热场温度的设计,该加热器还可通过设计不同高度的加热器厚度,自由调节加热器的温度变化;通过对阻值的控制,实现热量的聚集,缩短硅料加热时间,创造更高效益。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 制单 加热器 装置 单晶炉热场 结构 | ||
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