[实用新型]一种拉制单晶的加热器装置及单晶炉热场结构

权利要求书

1.一种拉制单晶的加热器装置，其特征在于，包括：加热器主体，所述加热器主体上设置有至少一个凹槽部和至少一个凸起部，所述凹槽部设置在所述加热器本体靠近单晶棒的一侧，但并未贯穿所述加热器主体的顶部；所述凸起部设置在除所述凹槽部以外的位置，将更高的温度辐射至单晶棒中。

2.根据权利要求1所述的一种拉制单晶的加热器装置，其特征在于：所述凹槽部的深度小于所述凸起部的厚度。

3.根据权利要求2所述的一种拉制单晶的加热器装置，其特征在于：所述凸起部的厚度与所述加热器主体厚度一致。

4.根据权利要求1所述的一种拉制单晶的加热器装置，其特征在于：还包括底部加热器，设置在所述加热器主体的底部，使得硅溶液均匀受热。

5.一种单晶炉热场结构，其特征在于，包括：炉体、坩埚以及如权利要求1-4任一项所述的拉制单晶的加热器装置；所述坩埚设置在所述炉体内部，所述加热器装置设置在所述坩埚的周围，对所述坩埚进行加热。

6.根据权利要求5所述的一种单晶炉热场结构，其特征在于：还包括保温层和导流筒，所述导流筒布置在靠近所述坩埚的一侧，且所述导流筒的一侧固定在所述保温层上，所述导流筒隔绝部分热量；所述保温层布置在远离所述坩埚的一侧，对所述坩埚内部进行保温。