[实用新型]微机电系统MEMS镜器件和便携式电子装置有效
| 申请号： | 202122376235.9 | 申请日： | 2021-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN217639747U | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | N·博尼;R·卡尔米纳蒂;M·默利 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的各实施例涉及微机电系统MEMS镜器件和便携式电子装置。微机电镜器件包括半导体材料的支撑框架和半导体材料板。板被连接到支撑框架，以能够围绕至少一个旋转轴线被定向。反射层被布置在板的第一区域上。压电致动结构在板的、相邻于反射层的第二区域上延伸。压电致动结构被配置为施加力来诸如修改板的曲率。本实用新型的实施例提供了MEMS镜器件的改进，例如消除或减少镜结构中的板的变形并且改进板的平面度。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 mems 器件 便携式 电子 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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