[实用新型]微机电系统MEMS镜器件和便携式电子装置

权利要求书

1.一种微机电系统MEMS镜器件，其特征在于，包括：

由半导体材料构成的支撑框架；

由半导体材料构成的板，所述板被连接到所述支撑框架，以能够围绕至少一个旋转轴线被定向；

在所述板的第一区域上的反射层；以及

压电致动结构，在所述板的、相邻于所述反射层的第二区域上延伸并且被配置为施加改变所述板的曲率的力。

2.根据权利要求1所述的MEMS镜器件，其特征在于，所述压电致动结构包括压电补偿致动器，所述压电补偿致动器在所述板的、围绕所述反射层的至少一部分的所述第二区域上延伸。

3.根据权利要求2所述的MEMS镜器件，其特征在于，所述压电补偿致动器具有环形形状并且围绕所述反射层无缝地延伸。

4.根据权利要求2所述的MEMS镜器件，其特征在于，所述压电补偿致动器包括围绕所述反射层布置的多个压电材料致动器带。

5.根据权利要求2所述的MEMS镜器件，其特征在于，所述压电补偿致动器具有环形形状，并且围绕所述反射层无缝地延伸；并且其中所述压电致动结构包括多个压电补偿致动器，所述多个压电补偿致动器在所述板的第二区域上延伸并且能够彼此独立地操作。

6.根据权利要求2所述的MEMS镜器件，其特征在于，所述压电致动结构包括多个压电补偿致动器，所述多个压电补偿致动器在所述板的所述第二区域上延伸并且能够彼此独立地操作。

7.根据权利要求6所述的MEMS镜器件，其特征在于，所述压电补偿致动器在所述板的所述第二区域上同心地延伸。

8.根据权利要求6所述的MEMS镜器件，其特征在于，所述压电补偿致动器在所述板的所述第二区域上同心地延伸；并且其中所述多个压电补偿致动器中的第一压电补偿致动器包括围绕所述反射层布置的压电材料的第一致动器带。

9.根据权利要求6所述的MEMS镜器件，其特征在于，所述多个压电补偿致动器中的第一压电补偿致动器包括围绕所述反射层布置的压电材料的第一致动器带。

10.根据权利要求9所述的MEMS镜器件，其特征在于，所述第一致动器带能够彼此独立地操作。

11.根据权利要求9所述的MEMS镜器件，其特征在于，所述多个压电补偿致动器中的第二压电补偿致动器包括围绕所述反射层布置的压电材料的第二致动器带。

12.根据权利要求11所述的MEMS镜器件，其特征在于，所述第二致动器带能够彼此独立地操作。

13.根据权利要求9所述的MEMS镜器件，其特征在于，所述第一致动器带能够彼此独立地操作；并且其中所述多个压电补偿致动器中的第二压电补偿致动器包括围绕所述反射层布置的压电材料的第二致动器带。

14.根据权利要求1所述的MEMS镜器件，其特征在于：

所述板借助连接弹性元件而被连接至所述支撑框架，所述连接弹性元件被配置为允许所述板围绕至少一个旋转轴线旋转；

所述压电致动结构借助连接线而被电耦合至所述支撑框架上放置的接触焊盘；以及

所述连接线包括在所述连接弹性元件上延伸的相应半导体部分。

15.根据权利要求1所述的MEMS镜器件，其特征在于，还包括压电运动致动器，所述压电运动致动器被连接到所述支撑框架和所述板并且被配置为将所述板围绕所述至少一个旋转轴线定向。