[实用新型]蒸镀遮掩装置和蒸镀设备有效
| 申请号： | 202122372639.0 | 申请日： | 2021-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN215799842U | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 李基满;彭振威 | 申请（专利权）人： | 乐金显示光电科技（中国）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 季承 |
| 地址： | 510530 广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种蒸镀遮掩装置和蒸镀设备，其中，蒸镀遮掩装置包括支撑绳、载台和设置在载台上的遮板，支撑绳绷紧设置遮板的下方，且支撑绳与遮板的下表面抵接，载台上表面靠近遮板的一侧处设置拉紧组件，支撑绳与拉紧组件连接，拉紧组件用于调节支撑绳的预紧力。通过设置支撑绳，在拉紧组件的作用下，可以使支撑绳保持紧绷，紧绷状态下的支撑绳可以对遮板提供支撑，避免遮板中部区域下凹变形，使遮板与待蒸镀的基板之间的间隙能够处于规定的范围之内，从而提高蒸镀所得的面板质量。 | ||
| 搜索关键词： | 遮掩 装置 设备 | ||
【主权项】：
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