[实用新型]蒸镀遮掩装置和蒸镀设备

说明书

本实用新型公开一种蒸镀遮掩装置和蒸镀设备，其中，蒸镀遮掩装置包括支撑绳、载台和设置在载台上的遮板，支撑绳绷紧设置遮板的下方，且支撑绳与遮板的下表面抵接，载台上表面靠近遮板的一侧处设置拉紧组件，支撑绳与拉紧组件连接，拉紧组件用于调节支撑绳的预紧力。通过设置支撑绳，在拉紧组件的作用下，可以使支撑绳保持紧绷，紧绷状态下的支撑绳可以对遮板提供支撑，避免遮板中部区域下凹变形，使遮板与待蒸镀的基板之间的间隙能够处于规定的范围之内，从而提高蒸镀所得的面板质量。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀工艺领域，尤其涉及一种蒸镀遮掩装置，以及包括此蒸镀遮掩装置的蒸镀设备。

背景技术

现有的有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，简称OLED)有机蒸镀镀膜的技术，是利用高精度的遮板作为模具，加热有机材料使其高温挥发后以材料分子状态透过遮板的通孔蒸镀到基板上。

参照图1，蒸镀遮掩装置设置在蒸镀室内，此蒸镀遮掩装置包括载台1＇和遮板2＇，蒸镀时，将遮板2＇放置在中空的载台1＇上，待蒸镀基板位于载台1＇和遮板2＇的正上方，然后载台1＇和遮板2＇竖直上升移动到邻近于待蒸镀基板的位置，以对待蒸镀基板不需要蒸镀的位置进行遮挡。

其中，载台1＇仅能够从遮板2＇的长度方向的两端对遮板2＇提供支撑，遮板2＇的中部区域在重力的作用下会向下弯曲出现变形。当待蒸镀基板进行蒸镀时，待蒸镀基板和遮板2＇的中部区域之间的间隙会变大，进而使有机材料进入到遮板2＇与待蒸镀基板之间，最终导致不需要镀膜的位置被镀膜。

实用新型内容

本实用新型实施例的一个目的在于：提供一种蒸镀遮掩装置，其变形小，且与待蒸镀基板之间的间隙均匀。

本实用新型实施例的另一个目的在于：提供一种蒸镀设备，其蒸镀得到的面板的蒸镀图形尺寸符合设计要求，蒸镀质量好。

为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

第一方面，提供一种蒸镀遮掩装置，包括载台、设置在所述载台上的遮板和支撑绳，所述支撑绳绷紧设置所述遮板的下方，且所述支撑绳与所述遮板的下表面抵接，所述载台上表面靠近所述遮板的一侧处设置拉紧组件，所述支撑绳与所述拉紧组件连接，所述拉紧组件用于调节所述支撑绳的预紧力。

作为蒸镀遮掩装置的一种优选方案，所述拉紧组件包括螺钉，所述螺钉和所述支撑绳的端部固定，所述载台的上表面凹陷设置有安装槽，所述安装槽内设置有螺纹孔，所述螺钉旋拧入所述螺纹孔内，使所述支撑绳绷紧。

作为蒸镀遮掩装置的一种优选方案，所述安装槽具有靠近所述遮板的安装侧面，所述安装侧面和所述载台的上表面通过过渡结构连接。

作为蒸镀遮掩装置的一种优选方案，所述过渡结构为外凸的弧面。

作为蒸镀遮掩装置的一种优选方案，所述载台上设置有滑轮，所述安装槽具有靠近所述遮板的安装侧面，所述滑轮设置在所述安装侧面和所述载台的上表面的连接区域，所述支撑绳和所述滑轮的外侧面抵接。

作为蒸镀遮掩装置的一种优选方案，所述载台上设置有固定块，所述遮板通过所述固定块与所述载台连接，所述固定块上设置有凹槽，所述凹槽的槽口正对所述遮板，所述支撑绳贯穿所述凹槽。

作为蒸镀遮掩装置的一种优选方案，所述固定块和所述遮板焊接；或，

所述固定块和所述遮板可拆卸连接。

作为蒸镀遮掩装置的一种优选方案，所述凹槽的槽底和/或所述凹槽的槽壁设置有垫片，所述垫片与所述固定块可拆卸连接。

作为蒸镀遮掩装置的一种优选方案，所述载台上表面靠近所述遮板的相对两侧均设置有所述拉紧组件，所述支撑绳的两端分别与两个所述拉紧组件连接。

第二方面，提供一种蒸镀设备，包括上述的蒸镀遮掩装置。