[实用新型]一种用于检测晶圆的测试设备有效
| 申请号： | 202122311925.6 | 申请日： | 2021-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN215812934U | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 杨兆明;曾春耕;张鲲 | 申请（专利权）人： | 浙江芯晖装备技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R31/26 |
| 代理公司： | 浙江永航联科专利代理有限公司 33304 | 代理人： | 蔡鼎 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴市海宁市海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于检测晶圆的测试设备，属于晶圆测试技术领域，它解决了目前的测试设备无法对不同大小的晶圆进行固定测试的问题。本用于检测晶圆的测试设备，包括检测台，检测台的右侧固定有第一电机，第一电机的输出轴栓接有螺杆，螺杆的另一端延伸至检测台的内部并与检测台的内壁转动连接，螺杆表面的两侧均螺纹连接有螺套，螺套的顶部焊接有弧形板，且两个弧形板之间设置有晶圆本体，检测台顶部的左侧设置有外壳，外壳的内部固定有第二电机，第二电机的输出轴栓接有转盘，转盘的表面焊接有活动块，且活动块的表面滑动连接有槽板。本实用新型能够对不同大小的晶圆进行固定测试，并提高了晶圆测试的工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 检测 测试 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江芯晖装备技术有限公司，未经浙江芯晖装备技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202122311925.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种防偷喝酒瓶标签
- 下一篇：用于颈椎后路手术的护眼保护头架装置
