[实用新型]一种用于检测晶圆的测试设备有效
| 申请号： | 202122311925.6 | 申请日： | 2021-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN215812934U | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 杨兆明;曾春耕;张鲲 | 申请（专利权）人： | 浙江芯晖装备技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R31/26 |
| 代理公司： | 浙江永航联科专利代理有限公司 33304 | 代理人： | 蔡鼎 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴市海宁市海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 检测 测试 设备 | ||
1.一种用于检测晶圆的测试设备，包括检测台(1)，其特征在于，所述检测台(1)的右侧固定有第一电机(2)，所述第一电机(2)的输出轴栓接有螺杆(3)，所述螺杆(3)的另一端延伸至检测台(1)的内部并与检测台(1)的内壁转动连接，所述螺杆(3)表面的两侧均螺纹连接有螺套(4)，所述螺套(4)的顶部焊接有弧形板(6)，且两个弧形板(6)之间设置有晶圆本体(7)，所述检测台(1)顶部的左侧设置有外壳(12)，所述外壳(12)的内部固定有第二电机(13)，所述第二电机(13)的输出轴栓接有转盘(14)，所述转盘(14)的表面焊接有活动块(16)，且活动块(16)的表面滑动连接有槽板(15)，所述槽板(15)的右侧焊接有直杆(17)，所述直杆(17)的另一端延伸至外壳(12)的右侧并固定有刮笔(20)。
2.根据权利要求1所述的一种用于检测晶圆的测试设备，其特征在于，所述直杆(17)的表面焊接有限位板(18)，所述限位板(18)与外壳(12)的内壁之间栓接有第一弹簧(19)，且第一弹簧(19)套设在直杆(17)的表面。
3.根据权利要求1所述的一种用于检测晶圆的测试设备，其特征在于，所述外壳(12)内腔的上下两侧均设置有滑杆(21)，所述滑杆(21)的表面与槽板(15)的内部活动连接。
4.根据权利要求1所述的一种用于检测晶圆的测试设备，其特征在于，所述检测台(1)内腔的左右两侧均开设有限位槽(8)，所述限位槽(8)的内部滑动连接有限位块(9)，所述限位块(9)与螺套(4)固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种用于检测晶圆的测试设备，其特征在于，所述检测台(1)顶部中间位置的两侧均设置有第二弹簧(10)，所述第二弹簧(10)的另一端栓接有支撑板(11)。
6.根据权利要求1所述的一种用于检测晶圆的测试设备，其特征在于，所述螺杆(3)的表面设置有固定板(5)，且固定板(5)的上下两侧均与检测台(1)的内壁相互固定。
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