[实用新型]一种反应腔中反应气体输送控制装置

摘要

本实用新型涉及等离子反应器技术领域，尤其为一种反应腔中反应气体输送控制装置，包括连接头，所述连接头的上表面中部固定连接有连接筒，所述连接筒的上端固定连接有连接管，所述连接头的中部开设有气体储存腔，所述气体储存腔的内部下表面等间距开设有出气槽，且每个所述出气槽的下端均开设有安装腔，所述连接管的内部安装有电磁阀，所述连接筒的内部设置有微型气泵，且所述微型气泵的输入端与连接管连通，所述微型气泵的输出端通过导管与气体储存腔内部连通，本实用新型结构设置合理，能够对气体的输出量进行计量以及控制，并且能够对输出的气体的速率进行有效的控制，从而确保反应的正常进行，避免气体输入的量过多或者过少。