[实用新型]一种反应腔中反应气体输送控制装置

说明书

本实用新型涉及等离子反应器技术领域，尤其为一种反应腔中反应气体输送控制装置，包括连接头，所述连接头的上表面中部固定连接有连接筒，所述连接筒的上端固定连接有连接管，所述连接头的中部开设有气体储存腔，所述气体储存腔的内部下表面等间距开设有出气槽，且每个所述出气槽的下端均开设有安装腔，所述连接管的内部安装有电磁阀，所述连接筒的内部设置有微型气泵，且所述微型气泵的输入端与连接管连通，所述微型气泵的输出端通过导管与气体储存腔内部连通，本实用新型结构设置合理，能够对气体的输出量进行计量以及控制，并且能够对输出的气体的速率进行有效的控制，从而确保反应的正常进行，避免气体输入的量过多或者过少。

技术领域

本实用新型涉及等离子反应器技术领域，具体为一种反应腔中反应气体输送控制装置。

背景技术

等离子反应器是以等离子处理设备为基础，通过改造创新，从而达到实验要求，仪器主要包括等离子体处理设备和反应腔两部分，在等离子体处理设备的基础上加入反应腔体部分，通入惰性气体或者反应气体达到所需的反应氛围。

目前在等离子反应腔中输送的气体没有控制装置进行控制，导致输送气体的量无法进行控制，从而无法使得反应正常进行。

因此需要一种反应腔中反应气体输送控制装置对上述问题做出改善。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种反应腔中反应气体输送控制装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种反应腔中反应气体输送控制装置，包括连接头，所述连接头的上表面中部固定连接有连接筒，所述连接筒的上端固定连接有连接管，所述连接头的中部开设有气体储存腔，所述气体储存腔的内部下表面等间距开设有出气槽，且每个所述出气槽的下端均开设有安装腔，所述连接管的内部安装有电磁阀，所述连接筒的内部设置有微型气泵，且所述微型气泵的输入端与连接管连通，所述微型气泵的输出端通过导管与气体储存腔内部连通，所述气体储存腔的内部等间距安装有气缸，且每个所述气缸的输出端均固定连接有密封块，且每个所述密封块分别设置在每个所述出气槽的内部。

作为本实用新型优选的方案，每个所述安装腔的内部均安装有用于计量气体输出量的气体流量传感器。

作为本实用新型优选的方案，每个所述出气槽的截面均为等边梯形，每个所述密封块的截面同样为等边梯形，且每个所述密封块的尺寸分别与每个所述出气槽的上端尺寸相适配。

作为本实用新型优选的方案，所述气体流量传感器的型号为WK—17A—200。

作为本实用新型优选的方案，所述电磁阀的型号为DFB-20/10。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型结构设置合理，在使用时，能够对气体的输出量进行计量以及控制，相对于现有的等离子反应器的反应腔来说，能够对输出的气体量进行有效的控制，从而确保反应的正常进行，避免气体输入的量过多或者过少。

附图说明

图1为本实用新型的立体图；

图2为本实用新型的剖面图；

图3为本实用新型图2中A处的放大图。

图中：连接头1、连接筒2、连接管3、电磁阀4、微型气泵5、导管6、气体储存腔7、气缸8、出气槽9、密封块10、安装腔11、气体流量传感器12。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例,基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。