[实用新型]一种高g值MEMS压阻式加速度计有效
| 申请号： | 202122212597.4 | 申请日： | 2021-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN216816728U | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 武浩;于天朋;付博;陈红;刘东;李慧娟;葛志鹏;韩世杰 | 申请（专利权）人： | 淮海工业集团有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12;G01P1/00 |
| 代理公司： | 北京正阳理工知识产权代理事务所(普通合伙) 11639 | 代理人： | 邬晓楠 |
| 地址： | 046012*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本实用新型公开的一种高g值MEMS压阻式加速度计，属于军用MEMS技术领域。本实用新型利用了具有限位过载保护和压膜阻尼调整的玻璃‑硅‑玻璃键合的三明治结构进行器件整体密封保护结构，采用了具有高灵敏度、高抗过载能力的单质量块三轴线压阻式检测结构，中间敏感结构层上设计了采用了八边梁‑质量块结构，通过在不同轴系受力面注入压敏电阻形成检测电桥组，从而实现三轴方向的加速度检测；本实用新型在保证结构在敏感方向上具有足够灵敏度的前提下，有效减小了其他非敏感方向上的灵敏度，并使固有频率的得到了提高，其特点是成本低、工艺易于实现。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 压阻式 加速度计 | ||
【主权项】：
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