[实用新型]一种芯片脏污粘尘装置有效
| 申请号： | 202122161594.2 | 申请日： | 2021-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN215785403U | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 刘金杰;廖茂密 | 申请（专利权）人： | 昆山普杰科特半导体有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 王美章 |
| 地址： | 215331 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种芯片脏污粘尘装置，包括安装板和设置在所述安装板上的：X轴移动装置，呈水平方向布置，其上通过第一固定架固定有粘尘棒旋转装置，粘尘棒旋转装置上安放有粘尘棒；Z轴移动装置，呈竖直方向布置在所述X轴移动装置一侧，其上通过第二固定架固定有粘尘棒抓取装置；粘尘棒定位装置，设置在所述Z轴移动装置底部，用于检测判定粘尘棒的位置。该芯片脏污粘尘装置，可自动定位芯片上的脏污和尘点，自动更换粘尘棒，提高了芯片的生产效率和品质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 脏污 装置 | ||
【主权项】：
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