[实用新型]一种芯片脏污粘尘装置

说明书

本实用新型公开了一种芯片脏污粘尘装置，包括安装板和设置在所述安装板上的：X轴移动装置，呈水平方向布置，其上通过第一固定架固定有粘尘棒旋转装置，粘尘棒旋转装置上安放有粘尘棒；Z轴移动装置，呈竖直方向布置在所述X轴移动装置一侧，其上通过第二固定架固定有粘尘棒抓取装置；粘尘棒定位装置，设置在所述Z轴移动装置底部，用于检测判定粘尘棒的位置。该芯片脏污粘尘装置，可自动定位芯片上的脏污和尘点，自动更换粘尘棒，提高了芯片的生产效率和品质。

技术领域

本实用新型涉及除尘设备技术领域，具体涉及一种芯片脏污粘尘装置。

背景技术

随着科技的发展和进步，越来越多的产品中会使用芯片，而芯片清洁是芯片制造过程中的必要环节，现有的芯片清洁多是采用人工在显微镜下确定芯片上脏污和尘点位置，然后拿粘尘棒手动粘除，这样操作会消耗人力资源致使生产效率低且容易造成二次污染致使芯片品质不稳定。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种芯片脏污粘尘装置，本装置与前后工序配合，可自动定位芯片上的脏污和尘点，自动更换粘尘棒，解决了现有的芯片除尘清洁效率低下且无法保证品质的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种芯片脏污粘尘装置，包括安装板和设置在所述安装板上的：X轴移动装置，呈水平方向布置，其上通过第一固定架固定有粘尘棒旋转装置，粘尘棒旋转装置上安放有粘尘棒；Z轴移动装置，呈竖直方向布置在所述X轴移动装置一侧，其上通过第二固定架固定有粘尘棒抓取装置；粘尘棒定位装置，设置在所述Z轴移动装置底部，用于检测判定粘尘棒的位置。

优选的，所述X轴移动装置为X轴直线模组，包括：X轴伺服电机和X轴丝杆传动模组，所述X轴伺服电机的输出轴通过联轴器和和所述X轴丝杆传动模组连接；

所述Z轴移动装置为Z轴直线模组，包括：Z轴伺服电机和Z轴丝杆传动模组，所述Z轴伺服电机的输出轴通过联轴器和所述 Z轴丝杆传动模组连接。

优选的，所述粘尘棒旋转装置包括：粘尘棒料架，粘尘棒料架旋转轴和粘尘棒旋转电机，所述粘尘棒料架设置在所述粘尘棒料架旋转轴外，所述粘尘棒料架旋转轴与所述粘尘棒旋转电机的输出轴采用皮带传动连接；

所述粘尘棒料架上沿所述粘尘棒料架周向均匀设有多个卡槽，每个所述卡槽上卡接有一个所述粘尘棒。

优选的，所述粘尘棒抓取装置包括：粘尘棒夹爪和粘尘棒夹持气缸，所述粘尘棒夹持气缸固定在所述Z轴移动装置上，所述粘尘棒夹持气缸的活塞杆和所述粘尘棒夹爪固定连接。

优选的，所述粘尘棒定位装置为CCD相机。

本实用新型的有益效果为：

1、该芯片脏污粘尘装置，采用X轴移动装置和Z轴移动装置，实现自动化的粘尘动作，代替原有的人工操作，方便快捷且不会造成人力资源的消耗；

2、该芯片脏污粘尘装置，采用粘尘棒旋转装置和粘尘棒抓取装置，实现对粘尘棒的更换动作，保证了粘尘的有效性，避免了人工操作会对芯片造成二次污染的问题；

3、该芯片脏污粘尘装置，采用尘件定位装置保证粘尘棒移动更换动作的准确性，确保本装置顺利自动运行。

附图说明

图1为本芯片脏污粘尘装置的结构示意图；

图2为粘尘棒旋转装置的放大图；

图中：1、安装板，2、Z轴伺服电机，3、Z轴丝杆传动模组，4、粘尘棒夹持气缸，5、粘尘棒夹爪，6、粘尘棒定位装置，7、粘尘棒料架，8、粘尘棒旋转电机，9、X轴丝杆传动模组，10、X轴伺服电机，11、粘尘棒料架旋转轴，12、粘尘棒。

具体实施方式