[实用新型]PE光刻版取版装置有效
| 申请号： | 202122135319.3 | 申请日： | 2021-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN215642234U | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 唐红梅;王毅 | 申请（专利权）人： | 扬州扬杰电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 扬州市苏为知识产权代理事务所(普通合伙) 32283 | 代理人： | 郭翔 |
| 地址： | 225008 江苏省扬*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | PE光刻版取版装置。提供了一种拿取简便、不易使光刻版背面沾污的PE光刻版取版装置。本实用新型包括底板和若干顶针；若干顶针设置在底板上，位于版架的内，与光刻版的边缘无图形区域相对应；若干顶针的高度大于版架的厚度，版架与光刻版分离后，版架与光刻版之间设有间距。若干顶针在底板上形成一侧高一侧低结构，使光刻版有一定的倾斜角度，支撑光刻版边缘，按下版架两边卡扣时，光刻版和版架脱落，留有一定的空间取出光刻版，从而避免了光刻版背面沾污。本实用新型具有拿取简便、不易使光刻版背面沾污等特点。 | ||
| 搜索关键词： | pe 光刻 版取版 装置 | ||
【主权项】：
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