[实用新型]一种晶托脱胶工装及脱胶系统有效
| 申请号： | 202122051388.6 | 申请日： | 2021-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN216329270U | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 陈日强;韩士岭;马菲 | 申请（专利权）人： | 通合新能源（金堂）有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/00 | 分类号： | B28D7/00 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 付兴奇 |
| 地址： | 610400 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本申请提供一种晶托脱胶工装及脱胶系统，晶托脱胶工装用于对晶托进行承载固定，晶托包括晶托基板和两个突出部，两个突出部分别突出设置于晶托基板的两端。晶托脱胶工装包括工装本体和两个固定装置，工装本体包括支架，支架具有第一端和第二端。每个固定装置包括固定件和间隔设置于固定件上的两个凸起件，两个凸起件之间形成固定槽。一个固定件设置于支架的第一端，另一个固定件设置于支架的第二端，两个固定槽分别承载固定两个突出部。而脱胶系统则包括晶托及晶托脱胶工装。固定槽将突出部进行承载固定，避免晶托发生相对运动，降低由于晶托碰撞脱胶工装而导致晶托及晶托脱胶工装损坏的风险，提高硅片的良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 脱胶 工装 系统 | ||
【主权项】：
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