[实用新型]一种晶托脱胶工装及脱胶系统

权利要求书

1.一种晶托脱胶工装，用于对晶托进行承载固定，所述晶托包括晶托基板和两个突出部，两个所述突出部分别突出设置于所述晶托基板的两端，其特征在于，所述晶托脱胶工装包括工装本体和两个固定装置；

所述工装本体包括支架，所述支架具有第一端和第二端；

每个所述固定装置包括固定件和间隔设置于所述固定件上的两个凸起件，两个所述凸起件之间形成固定槽；一个所述固定装置的所述固定件设置于所述支架的所述第一端，另一个所述固定装置的所述固定件设置于所述支架的所述第二端，两个所述固定装置的所述固定槽分别用于承载固定两个所述突出部。

2.根据权利要求1所述的晶托脱胶工装，其特征在于，所述固定件可移动设置于所述第一端或所述第二端，以使所述凸起件与所述晶托基板的设置所述突出部的端部抵靠。

3.根据权利要求2所述的晶托脱胶工装，其特征在于，所述支架包括两根横杆，两根所述横杆的延伸方向一致，所述横杆的延伸方向与所述固定件的延伸方向垂直，所述固定件的两端分别架设于两根所述横杆。

4.根据权利要求3所述晶托脱胶工装，其特征在于，所述固定件包括横梁与两个耳部，两个所述耳部分别设置于所述横梁的两端，所述耳部上形成凹陷区，所述横杆设置于所述凹陷区内使所述耳部架设于所述横杆。

5.根据权利要求4所述的晶托脱胶工装，其特征在于，所述耳部设置有紧固件以将所述横杆固定于所述紧固件和所述耳部之间。

6.根据权利要求5所述的晶托脱胶工装，其特征在于，所述紧固件螺旋设置于所述耳部，以使所述横杆固定于所述耳部和所述紧固件之间。

7.根据权利要求6所述的晶托脱胶工装，其特征在于，所述紧固件螺旋设置在所述耳部的远离所述横梁的一侧。

8.根据权利要求1所述的晶托脱胶工装，其特征在于，所述凸起件为锥形，所述凸起件的截面积沿远离所述固定件的方向逐渐减小。

9.一种脱胶系统，其特征在于，包括晶托及如权利要求1-8任一项所述的晶托脱胶工装，所述晶托包括晶托基板和两个突出部，两个所述突出部分别突出设置于所述晶托基板的两端，两个所述突出部分别可拆卸承载固定于两个所述固定装置的所述固定槽内。

10.根据权利要求9所述的脱胶系统，其特征在于，两个所述固定槽的宽度分别与两个所述突出部的宽度一致。