[实用新型]晶圆测试设备有效
| 申请号： | 202122019686.7 | 申请日： | 2021-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN215641671U | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 赵轶;陈夏薇;姚建强;郭剑飞;黄长兴;舒贻胜;宋金梁;杜振东 | 申请（专利权）人： | 杭州长川科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 王雪莎 |
| 地址： | 310000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种晶圆测试设备，涉及晶圆测试设备技术领域，本实用新型提供的晶圆测试设备包括：包括探针清洁机构、工作台和晶圆吸盘，晶圆吸盘安装于工作台上；探针清洁机构包括：基座、升降机构和清针组件；升降机构安装于基座，升降机构与清针组件传动连接，用于驱动清针组件相对于基座做升降运动；基座安装于工作台的一侧，工作台驱动所述探针清洁机构沿X轴、Y轴和Z轴运动。本实用新型提供的晶圆测试设备缓解了相关技术中清针台单独设置在工作台一侧，通过驱动机构驱动清针台沿X轴、Y轴和Z轴相对于工作台进行运动，成本较高的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 设备 | ||
【主权项】：
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