[实用新型]晶圆测试设备

说明书

本实用新型提供了一种晶圆测试设备，涉及晶圆测试设备技术领域，本实用新型提供的晶圆测试设备包括：包括探针清洁机构、工作台和晶圆吸盘，晶圆吸盘安装于工作台上；探针清洁机构包括：基座、升降机构和清针组件；升降机构安装于基座，升降机构与清针组件传动连接，用于驱动清针组件相对于基座做升降运动；基座安装于工作台的一侧，工作台驱动所述探针清洁机构沿X轴、Y轴和Z轴运动。本实用新型提供的晶圆测试设备缓解了相关技术中清针台单独设置在工作台一侧，通过驱动机构驱动清针台沿X轴、Y轴和Z轴相对于工作台进行运动，成本较高的技术问题。

技术领域

本实用新型涉及测试设备技术领域，尤其是涉及一种晶圆测试设备。

背景技术

探针台在测试晶圆时，针卡上的探针不断与晶圆接触，一段时间后探针上会附着污物，导致探针与晶圆接触不良，影响测试性能，所以需要清针台定期对探针进行清洁。在利用清针台进行清针时，将清针纸贴在清针台上表面，然后用清针纸接触探针。现有的清针台单独设置在工作台一侧，通过驱动机构驱动清针台沿XYZ轴相对于工作台进行运动进行清针操作，成本较高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆测试设备及晶圆测试设备，以缓解相关技术中清针台单独设置，成本较高的技术问题。

本实用新型提供一种晶圆测试设备，包括探针清洁机构、工作台和晶圆吸盘，所述晶圆吸盘安装于所述工作台上；

所述探针清洁机构包括：基座、升降机构和清针组件；所述升降机构安装于所述基座，所述升降机构与所述清针组件传动连接，用于驱动所述清针组件相对于所述基座做升降运动；

所述基座安装于所述工作台的一侧，所述工作台驱动所述探针清洁机构沿X轴、Y轴和Z轴运动。

在可选的实施方式中，较为优选地，所述升降机构包括升降气缸，所述升降气缸与所述清针组件传动连接。

在可选的实施方式中，较为优选地，所述升降机构还包括直线导轨和滑块；

所述直线导轨安装于所述基座，所述滑块安装于所述清针组件，并与所述直线导轨滑动配合。

在可选的实施方式中，较为优选地，所述升降气缸的两侧均设有所述直线导轨，所述直线导轨的两端分别安装有限位块。

在可选的实施方式中，较为优选地，所述清针组件包括清针板底座、清针板吸盘和清针板；

所述清针板底座与所述升降气缸的活塞杆连接，所述滑块固定安装于所述清针板底座；

所述清针板吸盘通过调节组件安装于所述清针板底座，所述清针板通过真空吸附于所述清针板吸盘上。

在可选的实施方式中，较为优选地，所述清针板底座包括底板和支座，所述支座设置在所述底板下端，所述底板与所述升降气缸的活塞杆连接。

在可选的实施方式中，较为优选地，所述调节组件包括多个调节螺钉，多个所述调节螺钉安装于所述底板上端面的四角区域。

在可选的实施方式中，较为优选地，所述探针清洁台还包括限位组件，所述限位组件安装于所述基座且与所述清针组件相对设置，所述限位组件能相对于所述清针组件转动，以将所述清针组件定位于清洁位置和使所述清针组件运动至初始状态。

在可选的实施方式中，较为优选地，所述限位组件包括摆动气缸和限位轴；

所述摆动气缸安装于所述基座，所述限位轴与所述基座转动连接，所述限位轴的一端与所述摆动气缸的转轴连接，所述底板上设有第一限位结构，所述限位轴上设有第二限位结构，所述第一限位结构与所述第二限位结构配合对所述基座进行限位。