[实用新型]一种用于晶圆划切机变频器装置有效
| 申请号： | 202122008059.3 | 申请日： | 2021-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN215589656U | 公开（公告）日： | 2022-01-21 |
| 发明（设计）人： | 胡天;龚胜;徐志强 | 申请（专利权）人： | 湖南艾凯瑞斯智能科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/00 | 分类号： | B28D7/00;H05K7/20;B08B1/04;B28D5/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 410000 湖南省长沙市长沙高新开发区*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型属于半导体生产设备领域，公开了一种用于晶圆划切机变频器装置，包括壳体；所述壳体的顶端开设有出气孔，所述壳体的底部开设有进气孔，所述壳体靠近出气孔与进气孔的外表面均固定连接有过滤网，所述壳体靠近出气孔的内表面固定连接有C形架，所述C形架的外表面固定连接有电机，所述电机的输出端贯穿C形架的外表面并固定连接有第一扇叶。通过电机带动第一扇叶转动，使第一扇叶转动并在壳体内产生负压，此时壳体内的压强将小于外界的压强，使得外界的气流可以通过进气孔进入到壳体内并从出气孔排出，以便对壳体内的电器元件进行散热降温，防止电器元件由于温度过高发生损毁。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 晶圆划切 机变 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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