[实用新型]一种用于晶圆划切机变频器装置有效
申请号: | 202122008059.3 | 申请日: | 2021-08-25 |
公开(公告)号: | CN215589656U | 公开(公告)日: | 2022-01-21 |
发明(设计)人: | 胡天;龚胜;徐志强 | 申请(专利权)人: | 湖南艾凯瑞斯智能科技有限公司 |
主分类号: | B28D7/00 | 分类号: | B28D7/00;H05K7/20;B08B1/04;B28D5/00 |
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地址: | 410000 湖南省长沙市长沙高新开发区*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 晶圆划切 机变 装置 | ||
1.一种用于晶圆划切机变频器装置,包括壳体(1);其特征在于:所述壳体(1)的顶端开设有出气孔(2),所述壳体(1)的底部开设有进气孔(3),所述壳体(1)靠近出气孔(2)与进气孔(3)的外表面均固定连接有过滤网(9),所述壳体(1)靠近出气孔(2)的内表面固定连接有C形架(4),所述C形架(4)的外表面固定连接有电机(5),所述电机(5)的输出端贯穿C形架(4)的外表面并固定连接有第一扇叶(6)。
2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆划切机变频器装置,其特征在于:所述壳体(1)靠近进气孔(3)的内表面固定连接有支撑架(7),所述支撑架(7)的外表面通过转轴(12)转动连接有第二扇叶(8),所述转轴(12)远离第二扇叶(8)的一端圆周固定连接有多个弧形刮刀(10)。
3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆划切机变频器装置,其特征在于:所述壳体(1)靠近进气孔(3)的外表面固定连接有挡环(11)。
4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆划切机变频器装置,其特征在于:所述挡环(11)与过滤网(9)的侧壁之间形成一个集污槽(13)。
5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆划切机变频器装置,其特征在于:所述集污槽(13)的内部填充有海绵。
6.根据权利要求2或3所述的一种用于晶圆划切机变频器装置,其特征在于:所述弧形刮刀(10)的长度大于挡环(11)的直径。
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