[实用新型]一种光伏硅片表面蚀刻设备

摘要

本实用新型公开了一种光伏硅片表面蚀刻设备，涉及光伏设备技术领域，包括蚀刻箱和支架，支架焊接在蚀刻箱的上方，蚀刻箱的内部开设有蚀刻间和对流间，蚀刻间位于对流间的正上方，蚀刻间内部的顶面均匀开设有若干个通孔，支架的左右两端均嵌接有电动推杆，左右两端的电动推杆之间的底部焊接有升降板，升降板的底部均匀插接有若干根空心杆，若干根空心杆的底部均熔接有吸附塞，吸附塞的底部开设有阶梯槽，支架的上表面安装有用于抽气的高压风机。通过将硅片吸在吸附塞的阶梯槽内，并使得硅片的下表面浸泡在蚀刻液中，以此可以对硅片的下表面进行蚀刻，而硅片的上表面位于阶梯槽内，所以硅片的上表面不易被蚀刻液侵蚀。