[实用新型]一种光伏硅片表面蚀刻设备

权利要求书

1.一种光伏硅片表面蚀刻设备，包括蚀刻箱（1）和支架（2），所述支架（2）焊接在蚀刻箱（1）的上方，其特征在于：

所述蚀刻箱（1）的内部开设有蚀刻间（101）和对流间（102），所述蚀刻间（101）位于对流间（102）的正上方，所述蚀刻间（101）内部的顶面均匀开设有若干个通孔（103）；

所述支架（2）的左右两端均嵌接有电动推杆（5），左右两端的所述电动推杆（5）之间的底部焊接有升降板（6），所述升降板（6）的底部均匀插接有若干根空心杆（7），若干根所述空心杆（7）的底部均熔接有吸附塞（8），所述吸附塞（8）的底部开设有阶梯槽（801），所述支架（2）的上表面安装有用于抽气的高压风机（9），所述高压风机（9）的进气口处插接有抽气管（901）。

2.根据权利要求1所述的一种光伏硅片表面蚀刻设备，其特征在于：所述升降板（6）位于支架（2）与蚀刻箱（1）之间，而若干个所述空心杆（7）分别位于若干个所述通孔（103）的正上方。

3.根据权利要求2所述的一种光伏硅片表面蚀刻设备，其特征在于：所述空心杆（7）的下端延伸进同侧所述通孔（103）的内部，所述吸附塞（8）与通孔（103）滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种光伏硅片表面蚀刻设备，其特征在于：所述空心杆（7）的内部与吸附塞（8）的阶梯槽（801）相通，所述空心杆（7）的上端均匀开设有若干个气孔（701），所述空心杆（7）的顶部贯穿出升降板（6）。

5.根据权利要求4所述的一种光伏硅片表面蚀刻设备，其特征在于，所述抽气管（901）的下端贯穿过支架（2）并位于升降板（6）的正上方，所述抽气管（901）的下端插接有若干根弹簧管（10），若干根所述弹簧管（10）的底部分别插入若干根所述空心杆（7）的顶部。

6.根据权利要求1所述的一种光伏硅片表面蚀刻设备，其特征在于：所述蚀刻箱（1）外部的右侧面安装有水泵（3），所述水泵（3）的进水口处插接有抽水管（301），所述水泵（3）的出水口处插接有排水管（302）。

7.根据权利要求6所述的一种光伏硅片表面蚀刻设备，其特征在于：所述抽水管（301）的左端贯穿进对流间（102）的内部，所述排水管（302）的左端贯穿进蚀刻间（101）的内部，所述蚀刻间（101）和对流间（102）之间的左侧穿插有连通管（4）。