[实用新型]基于霍尔元件的缺陷检测装置有效
| 申请号： | 202121879685.3 | 申请日： | 2021-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN216051527U | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 朱忻 | 申请（专利权）人： | 苏州矩阵光电有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/9013 | 分类号： | G01N27/9013;G01N27/904 |
| 代理公司： | 北京毕科锐森知识产权代理事务所(普通合伙) 11877 | 代理人： | 王静;陶涛 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市张*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型的实施例公开了一种基于霍尔元件的缺陷检测装置。所述缺陷检测装置包括：基板；磁传感器，所述磁传感器位于基板的一个表面并且包括成预定图案排布的至少两个霍尔元件；环形激励线圈，位于所述磁传感器的周围；信号采集模块，临近磁传感器并且位于基板的周边位置；对信号采集模块发送的信号数据进行处理分析的数据处理分析模块。本实用新型属于半导体技术领域。由于磁传感器包括成预定图案排布的至少两个霍尔元件，所述缺陷检测装置可以对被测物体的某个区域进行检测并形成缺陷的二维图像。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 霍尔 元件 缺陷 检测 装置 | ||
【主权项】：
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