[实用新型]一种自动去边机自动对中中转台有效

专利信息
申请号: 202121851292.1 申请日: 2021-08-09
公开(公告)号: CN216140838U 公开(公告)日: 2022-03-29
发明(设计)人: 靳立辉;杨骅;姚长娟;王国瑞;任志高;杨亮;杜晨朋 申请(专利权)人: 天津环博科技有限责任公司
主分类号: B65G47/74 分类号: B65G47/74;B65G47/91;H01L21/68
代理公司: 天津企兴智财知识产权代理有限公司 12226 代理人: 陈雅洁
地址: 300384 天津市滨*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 实用新型提供了一种自动去边机自动对中中转台,包括对中机构和平衡机构,对中机构包括硅片吸盘、设置于对中机构下部用于调整硅片吸盘与外部吸盘对中的XY调整台,围绕硅片吸盘对称设置有两个硅片夹爪,两个硅片夹爪通过一个平行夹爪电缸连接并相向移动执行抓取动动作,硅片吸盘上表面设置硅片,并对应硅片设置硅片固定结构,平衡机构包括平衡板和设置于平衡板下侧的固定板,固定板水平设置,平衡板对应固定板设置有平衡组件,对中机构设置于平衡板上侧。本实用新型所述的对中机构实现了硅片自动对中吸盘中心,同时平衡机构保证了硅片平面与外部吸盘下表面的相对平行,可防止外部吸盘吸取硅片时压碎硅片,提高效率,节省人工成本。
搜索关键词: 一种 自动 去边机 转台
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