[实用新型]一种自动去边机自动对中中转台

权利要求书

1.一种自动去边机自动对中中转台，其特征在于：包括对中机构和设置于对中机构下侧的平衡机构，所述对中机构包括硅片吸盘(1)、设置于对中机构下部用于调整硅片吸盘(1)与外部吸盘对中的XY调整台(2)，围绕硅片吸盘(1)对称设置有两个硅片夹爪(3)，两个硅片夹爪(3)通过一个平行夹爪电缸(31)连接并相向移动执行抓取动动作，所述硅片吸盘(1)上表面设置硅片，并对应硅片设置硅片固定结构(4)，

所述平衡机构包括平衡板(5)和设置于平衡板(5)下侧的固定板(6)，所述固定板(6)水平设置，所述平衡板(5)对应固定板(6)设置有平衡组件(7)，所述对中机构设置于平衡板(5)上侧。

2.根据权利要求1所述的一种自动去边机自动对中中转台，其特征在于：所述硅片夹爪(3)包括连接板(32)、垂直设置与连接板(32)上的立柱(33)，所述连接板(32)与平行夹爪电缸(31)一侧驱动杆(311)固接，所述平行夹爪电缸(31)设置于硅片吸盘(1)下侧；

所述连接板(32)上设置有两个立柱(33)，同一连接板(32)上的两个立柱(33)之间距离与硅片尺寸对应设置，同一连接板(32)上的两个立柱(33)端部的连线垂直于驱动杆(311)的推动方向；

所述硅片吸盘(1)对应立柱(33)设置避让槽(11)。

3.根据权利要求1所述的一种自动去边机自动对中中转台，其特征在于：所述固定结构包括真空泵、硅片吸盘(1)外缘侧设置有接口(41)、所述硅片吸盘(1)上表面对应硅片下表面设置抽真空开口(42)，所述接口(41)与真空泵通过抽真空管路连接，所述抽真空开口(42)与接口(41)连通。

4.根据权利要求1所述的一种自动去边机自动对中中转台，其特征在于：所述硅片吸盘(1)为圆盘型，硅片吸盘(1)上部设置有U型沉槽(12)，所述U型沉槽(12)开口一端朝向硅片吸盘(1)的外侧，U型沉槽(12)闭口一端为圆弧(121)，并与硅片吸盘(1)同轴。

5.根据权利要求4所述的一种自动去边机自动对中中转台，其特征在于：所述对中机构包括底板(8)，所述底板上表面两侧垂直设置竖板(81)，所述竖板(81)上端与硅片吸盘(1)下表面固接，所述底板(8)下表面于XY调整台(2)上端连接；

所述外部吸盘连接有对中工装(9)，所述对中工装(9)竖向设置有与U型沉槽(12)圆弧(121)处对应的圆柱(91)，所述硅片中部圆孔直径与圆柱(91)直径对应设置。

6.根据权利要求1所述的一种自动去边机自动对中中转台，其特征在于：所述固定板(6)临近外缘还等距设置有多个调节螺杆(71)，所述调节螺杆(71)上端与固定板(6)的下表面抵接，另一段伸出固定板(6)上对应调节螺钉设置的螺纹孔；

所述固定板(6)和平衡板(5)还对应设置有直线位移传感器(72)，所述直线位移传感器(72)临近固定板(6)的外缘等距设置有多个。

7.根据权利要求1所述的一种自动去边机自动对中中转台，其特征在于：所述平衡板(5)临近外缘周圈等距竖向设置多个弹簧导正螺栓(73)，所述固定板(6)对应所述弹簧导正螺栓(73)设置螺栓过孔，所述弹簧导正螺栓(73)对应套设有弹簧(74)，所述弹簧(74)设置于固定板(6)与平衡板(5)之间；

所述弹簧导正螺栓(73)的螺栓帽设置于固定板(6)的下侧，所述螺栓帽与固定板(6)下表面之间设置圆环(731)，所述圆环(731)内径与螺栓杆直径对应。

8.根据权利要求1所述的一种自动去边机自动对中中转台，其特征在于：所述固定板(6)下表面中部垂直设置有一对立板(61)，所述立板下端固设长条板(62)，所述长条板四角垂直开设螺钉过孔。