[实用新型]一种交流镀膜电源中等离子体电弧的检测和控制电路有效
| 申请号： | 202121808225.1 | 申请日： | 2021-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN215647528U | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 阚龙 | 申请（专利权）人： | 上海硬石科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/36 | 分类号： | H05H1/36 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200120 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种交流镀膜电源中等离子体电弧的检测和控制电路，包括交流镀膜电源、直流DC模块、交流AC斩波模块、逻辑控制模块和等离子腔体；所述直流DC模块、交流AC斩波模块和逻辑控制模块均设置于交流镀膜电源上，直流DC模块连接交流AC斩波模块；所述交流AC斩波模块连接等离子腔体，且交流AC斩波模块与等离子腔体的连接处设置有负载连接线。本实用新型在判定发生电弧后，电源立刻给出当时输出电压的反向电压，通过电源迅速的吸收中和此时电源内部和负载腔体内的电弧能量，最大限度的降低电弧对腔体内靶材和产品的影响，后续可更快的恢复功率输出，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 交流 镀膜 电源 等离子体 电弧 检测 控制电路 | ||
【主权项】：
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