[实用新型]一种交流镀膜电源中等离子体电弧的检测和控制电路

说明书

本实用新型公开了一种交流镀膜电源中等离子体电弧的检测和控制电路，包括交流镀膜电源、直流DC模块、交流AC斩波模块、逻辑控制模块和等离子腔体；所述直流DC模块、交流AC斩波模块和逻辑控制模块均设置于交流镀膜电源上，直流DC模块连接交流AC斩波模块；所述交流AC斩波模块连接等离子腔体，且交流AC斩波模块与等离子腔体的连接处设置有负载连接线。本实用新型在判定发生电弧后，电源立刻给出当时输出电压的反向电压，通过电源迅速的吸收中和此时电源内部和负载腔体内的电弧能量，最大限度的降低电弧对腔体内靶材和产品的影响，后续可更快的恢复功率输出，提高生产效率。

技术领域

本实用新型涉及一种交流镀膜电源中等离子体电弧的检测和控制电路。

背景技术

如图1所示，为电流弧的处理机制，t1时刻，电流弧发生；电流弧发生后，电源输出电流急剧升高，在t2时刻达到电流弧判定阈值，此时电源认为电弧产生，立刻关断电源，延时至t3时刻恢复输出。

由于等离子腔体和负载连接线等存在寄生电感和电容，这部分会存储一部分能量，电源关断输出后，该部分能量不会立刻消失，而是在负载上震荡一段时间，消耗在了负载上，这部分能量不是工艺所需要的，会对产品造成损伤，而且这部分的能量也需要一定时间才能消耗完，影响了生产效率。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种交流镀膜电源中等离子体电弧的检测和控制电路，应用于交流镀膜电源等离子体辉光放电过程中出现的电弧进行检测和控制，降低电弧对溅射镀膜的影响。

本实用新型交流镀膜电源中等离子体电弧的检测和控制电路是通过以下技术方案来实现的：包括交流镀膜电源、直流DC模块、交流AC斩波模块、逻辑控制模块和等离子腔体；

直流DC模块、交流AC斩波模块和逻辑控制模块均设置于交流镀膜电源上，直流DC模块连接交流AC斩波模块；交流AC斩波模块连接等离子腔体，且交流AC斩波模块与等离子腔体的连接处设置有负载连接线。

作为优选的技术方案，交流AC斩波模块和等离子腔体的连接处与逻辑控制模块之间设置有电流导线，且电流导线上设置有输出电流采样，且输出电流采样连接；交流AC斩波模块和等离子腔体的连接处与逻辑控制模块之间设置有两电压导线，且电压导线之间并联有输出电压采样。

作为优选的技术方案，逻辑控制模块内设置有比较模块、时钟模块和驱动模块。

本实用新型的有益效果是：本实用新型在判定发生电弧后，电源立刻给出当时输出电压的反向电压，通过电源迅速的吸收中和此时电源内部和负载腔体内的电弧能量，最大限度的降低电弧对腔体内靶材和产品的影响，后续可更快的恢复功率输出，提高生产效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术的电流弧阀值图；

图2为本实用新型的结构示意图。

图3为本实用新型的电流弧阀值图；

图4为本实用新型的实施例图。

具体实施方式

本说明书中公开的所有特征，或公开的所有方法或过程中的步骤，除了互相排斥的特征和/或步骤以外，均可以以任何方式组合。

本说明书(包括任何附加权利要求、摘要和附图)中公开的任一特征，除非特别叙述，均可被其他等效或具有类似目的的替代特征加以替换。即，除非特别叙述，每个特征只是一系列等效或类似特征中的一个例子而已。