[实用新型]一种stamp基底有效
| 申请号： | 202121776371.0 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN215526345U | 公开（公告）日： | 2022-01-14 |
| 发明（设计）人： | 刘守航;杜政;党康康 | 申请（专利权）人： | 华天慧创科技(西安)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 朱海临 |
| 地址： | 710018 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种stamp基底，包括PET膜；所述PET膜的其中一侧表面设置有第一玻璃层，所述PET膜和第一玻璃层之间通过第一光刻胶层进行连接形成第一面stamp基底；所述PET膜的另一侧表面设置有第二玻璃层，所述PET膜和第二玻璃层之间通过第二光刻胶层进行连接形成第二面stamp基底。通过将stamp基底由PET膜，转移到玻璃基底上，在PET膜的两侧通过光刻胶层连接玻璃层，这样可以保证在压印后脱模过程中，拉扯PET膜，玻璃不会产生明显形变，因此stamp胶不会产生形变，进而产品压印不会存在形变保证对位，能够保证纳米压印整面对位的稳定性，能够满足纳米压印整面对位±5微米的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 stamp 基底 | ||
【主权项】：
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