[实用新型]能量衰减器及照明系统有效
申请号: | 202121749338.9 | 申请日: | 2021-07-29 |
公开(公告)号: | CN215679036U | 公开(公告)日: | 2022-01-28 |
发明(设计)人: | 徐建旭 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人: | 郑星 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种能量衰减器及照明系统,其中,所述能量衰减器包括若干个具有不同总透过率的衰减档位,两条经过所述衰减档位的几何中心的分界线将所述衰减档位划分为两两相对的四个衰减分区,其中两个相对的所述衰减分区的透过率之和为第一设定值,另外两个相对的所述衰减分区的透过率之和为第二设定值,且所述第一设定值和所述第二设定值不同,以实现所述光斑的光瞳椭圆度的补偿。本实用新型通过改进能量衰减器的结构,在进行能量衰减的同时实现光瞳椭圆度的补偿,从而简化了照明系统的结构,降低了生产成本及调试时间成本,提高产率。进一步地,本实用新型将能量衰减器设置于匀光组件之前,减小了能量衰减器对光线均匀性的影响。 | ||
搜索关键词: | 能量 衰减器 照明 系统 | ||
【主权项】:
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