[实用新型]能量衰减器及照明系统有效

专利信息
申请号: 202121749338.9 申请日: 2021-07-29
公开(公告)号: CN215679036U 公开(公告)日: 2022-01-28
发明(设计)人: 徐建旭 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 代理人: 郑星
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 能量 衰减器 照明 系统
【权利要求书】:

1.一种能量衰减器,其特征在于,包括:若干个具有不同总透过率的衰减档位,两条经过所述衰减档位的几何中心的分界线将所述衰减档位划分为两两相对的四个衰减分区,其中两个相对的所述衰减分区的透过率之和为第一设定值,另外两个相对的所述衰减分区的透过率之和为第二设定值,且所述第一设定值和所述第二设定值不同,以同时实现能量衰减和光瞳椭圆度的补偿。

2.如权利要求1所述的能量衰减器,其特征在于,所述衰减档位的透过率差值ΔT为:

其中,Ta和Tb分别表示所述第一设定值和所述第二设定值。

3.如权利要求2所述的能量衰减器,其特征在于,所述衰减档位的透过率差值与所述衰减档位的光瞳椭圆度补偿量之间呈线性关系。

4.如权利要求1所述的能量衰减器,其特征在于,所述衰减分区内设置有阵列排布的透光孔。

5.如权利要求4所述的能量衰减器,其特征在于,透过率不同的衰减分区内设置的所述透光孔的大小不同或密度不同。

6.如权利要求1、4或5所述的能量衰减器,其特征在于,所述能量衰减器包括固定档位的能量衰减器和连续可变的能量衰减器。

7.如权利要求6所述的能量衰减器,其特征在于,所述衰减分区的形状包括扇形、扇环形或三角形。

8.如权利要求6所述的能量衰减器,其特征在于,所述固定档位的能量衰减器中,所述衰减档位的任意两个相对的衰减分区的透过率相同,且任意两个相邻的所述衰减分区的透过率不同。

9.如权利要求6所述的能量衰减器,其特征在于,若所述固定档位的能量衰减器包括至少两个衰减档位,则所述衰减档位围绕所述能量衰减器的几何中心均匀或非均匀设置。

10.如权利要求6所述的能量衰减器,其特征在于,所述连续可变的能量衰减器,所述衰减档位的其中两个相对的所述衰减分区的透过率相同,另外两个相对的所述衰减分区的透过率不同。

11.如权利要求6所述的能量衰减器,其特征在于,所述连续可变的能量衰减器的结构包括插板式矩形结构和旋转式圆盘结构。

12.一种照明系统,其特征在于,包括光源、保护玻璃、快门、能量衰减器、耦合组件、匀光组件、中继组件和掩模版;其中,所述光源用于发出光线,所述快门用于控制光线的出射与关闭,所述能量衰减器用于对光线进行能量衰减及光瞳椭圆度的补偿,所述匀光组件用于改善光线的均匀性。

13.如权利要求12所述的照明系统,其特征在于,所述光源发出的光线依次经过所述保护玻璃、所述快门、所述能量衰减器、所述耦合组件、所述匀光组件、所述中继组件后到达所述掩模版,并在所述掩模版的掩模面成像。

14.如权利要求13所述的照明系统,其特征在于,所述光线到达所述能量衰减器并形成光瞳椭圆度为45°的光斑。

15.如权利要求12或13所述的照明系统,其特征在于,所述光源包括灯室及设置在所述灯室内的汞灯和椭球反射镜,所述汞灯发出的光经过所述椭球反射镜反射,会聚于所述灯室一侧壁上的出光口,并从所述出光口射出。

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