[实用新型]一种具有防护功能的半导体用溅射台

摘要

本实用新型公开了一种具有防护功能的半导体用溅射台，包括溅射台本体，所述溅射台本体一侧设置有防护定位组件，所述防护定位组件包括固定插板，所述固定插板的数量设置有两个，两个所述固定插板对称设置。本实用新型通过根据溅射台本体需要进行防护的位置，进行两个防护定位组件的位置确定，将定位螺杆贯穿定位滑槽与溅射台本体进行连接，当连接位置发生偏移时，可拉动固定插板，进一步便于防护定位组件的位置调节，将防护调节组件通过插接卡板与防护定位组件进行位置连接，根据内部进行防护的高度，拉动调节防护套，进一步根据需要进行防护的大小进行调节，从而便于在加工的同时对溅射台进行防护，提高安全性。