[实用新型]一种具有防护功能的半导体用溅射台

权利要求书

1.一种具有防护功能的半导体用溅射台，包括溅射台本体（1），其特征在于，所述溅射台本体（1）一侧设置有防护定位组件（2），所述防护定位组件（2）包括固定插板（3），所述固定插板（3）的数量设置有两个，两个所述固定插板（3）对称设置，所述固定插板（3）外壁一侧固定连接有连接板（4），所述连接板（4）内部贯穿有定位滑槽（5），所述定位滑槽（5）内部两侧均插接有定位螺杆（6），所述定位螺杆（6）外壁螺纹套接有定位螺帽（7），所述定位螺杆（6）通过定位螺帽（7）与定位滑槽（5）可拆卸连接，所述固定插板（3）内部开设有插接卡槽（8），所述插接卡槽（8）内部插接有插接卡板（9），所述插接卡板（9）外壁一侧固定连接有连接块（10），两个所述连接块（10）之间设置有防护调节组件（11）；

所述防护调节组件（11）包括防护罩（12），所述防护罩（12）与连接块（10）固定连接，所述连接块（10）内壁开设有活动槽（13），所述活动槽（13）内壁两侧均开设有调节滑槽（14），所述调节滑槽（14）内部滑动连接有调节滑块（15），所述调节滑块（15）外壁一侧滑动连接有调节防护套（16），所述调节防护套（16）内壁一侧开设有螺纹孔（17），所述螺纹孔（17）的数量设置有多个，每相邻两个所述螺纹孔（17）之间的距离相等，所述防护罩（12）内壁一侧贯穿有螺纹杆（18），所述螺纹杆（18）延伸至螺纹孔（17）内部。

2.根据权利要求1所述的一种具有防护功能的半导体用溅射台，其特征在于：所述防护罩（12）与调节防护套（16）外壁均固定连接有手持板（19），所述手持板（19）的数量设置有两个，两个所述手持板（19）均关于防护罩（12）与调节防护套（16）中轴线对称设置。

3.根据权利要求1所述的一种具有防护功能的半导体用溅射台，其特征在于：所述调节防护套（16）顶部贯穿有透气孔，所述透气孔的数量设置有三组，每组所述透气孔的数量设置有两个，两个所述调节防护套（16）顶部均设置有过滤板（20）。

4.根据权利要求3所述的一种具有防护功能的半导体用溅射台，其特征在于：所述过滤板（20）底部两侧均固定连接有固定腿（21），所述固定腿（21）贯穿调节防护套（16）延伸至内壁。

5.根据权利要求4所述的一种具有防护功能的半导体用溅射台，其特征在于：所述调节防护套（16）内壁远离固定腿（21）一侧开设有限位槽（22），所述限位槽（22）内部滑动连接有限位卡扣（23），所述固定腿（21）外壁一侧开设有限位卡孔（24），所述限位卡孔（24）与限位卡扣（23）相插接。

6.根据权利要求1所述的一种具有防护功能的半导体用溅射台，其特征在于：所述防护罩（12）外壁一侧固定连接有可视板。